Electronic Semiconductor Wastewater Treatment Technology

Typer avløpsvann
Fordi sluttproduktene til halvlederselskaper er forskjellige, er typene avløpsvann som genereres i produksjonsprosessen til hvert selskap forskjellige, og klassifiseringen av kildene til avløpsvann generert av hvert selskap er også forskjellig. Totalt kan avløpsvannet i halvlederindustrien deles inn i fluorholdig avløpsvann, fosforholdig avløpsvann, organisk avløpsvann, slipeavløpsvann, ammoniakknitrogenavløpsvann og syrebasert avløpsvann.

Kilde til avløpsvann
Det fluorholdige avløpsvannet kommer hovedsakelig fra diffusjonsprosessen og kjemisk mekanisk slipeprosess i sponfremstillingsprosessen. Flussyre brukes også mange ganger i renseprosessen av silisiumskiver og relaterte redskaper. Det har en sterk destruktiv effekt på slimhinner, øvre luftveier, øyne og hudvev. Forurensningene er hovedsakelig fluorioner.
Fosforholdig avløpsvann kommer hovedsakelig fra aluminiumsetseløsning i produksjonsteknikk.
Organisk avløpsvann, på grunn av ulike produksjonsprosesser, har mengden organiske løsemidler som brukes i halvlederindustrien et stort gap. Men som rengjøringsmidler er organiske løsemidler fortsatt mye brukt i alle aspekter av produksjon av emballasje. En del av løsningsmidlet blir til organisk avløpsvann. Organisk avløpsvann kommer hovedsakelig fra IPA-løsningsmiddel, fremkaller, ITO etseløsning, syrebasert avløpsvann fra beitetårn og organisk avløpsvann fra beitetårn. Maling av avløpsvann kommer hovedsakelig fra den påfølgende renseprosessen etter waferkutting og polering. De viktigste forurensningene er suspenderte stoffer. Ammoniakknitrogenavløpsvann kommer hovedsakelig fra ammoniakkvann og ammoniumfluorid som brukes i etseprosessen og rengjøring med høyrent vann. Det syrebaserte avløpsvannet kommer hovedsakelig fra renseprosessen i produksjonsprosessen; tilbakespylingsvannet til multimediefilteret og aktivert kullfilteret i rentvannssystemet, rensevannet etter regenereringen av blandet lag; dreneringen av kjøletårnet.

Avløpsvannbehandlingsteknologi
Fluorert avløpsvannbehandling
Behandlingsteknologien for fluorholdig avløpsvann er hovedsakelig kjemisk utfelling pluss koagulasjonsutfellingsmetode, det vil si tilsetning av kjemikalier for å danne fluorutfelling eller fluor som adsorberes i det dannede utfellingen og samutfellingen, og deretter separere det faste utfellingen for å fjerne fluor. saken. I halvlederindustrien resulterer tilsetning av Ca(OH)2 eller en blanding av NaOH og CaCl2 i utfelling av uløselig CaF2. På grunn av de høye miljøkravene til halvlederfabrikker bruker vi ofte CaCl2 som reaktant. Den kjemiske reaksjonen av CaCl2-utfelling er:
2F pluss Ca2 pluss → CaF2↓
Ved den støkiometriske konsentrasjonen av kalsium er den teoretiske maksimale løseligheten av kalsiumfluorid ca. 8 mg/l. Kalsiumfluoridkonsentrasjoner som overskrider denne løselighetsgrensen resulterer derfor i utfellinger. Vanligvis anses oppholdstiden til å være 0,5 timer. Ulempen med CaF2-utfelling er at sedimentet har dårlige sedimentasjonsegenskaper, så etter kjemisk utfelling tilsettes generelt koagulanter (PAC og PAM) for ytterligere å danne et større bunnfall, og til slutt fjernes sedimentet i en sedimentasjonstank. Hvis overskudd av kalk eller CaCl2 tilsettes, kan fluoridkonsentrasjonen reduseres ytterligere. Vanligvis settes en fluormåler i reaksjonstanken for å kontrollere doseringen av kalsium.

Fosfor avløpsvannbehandling
Fosforholdig avløpsvannbehandling utføres hovedsakelig ved kjemisk utfellingsmetode og biologisk metode. Det meste av produksjonsbehandlingen brukes til å rense organisk fosforavløpsvann. Fosforholdig avløpsvann generert i halvlederindustrien eksisterer hovedsakelig i form av fosfat, som behandles med kjemisk utfellingsmetode. Utfellingsmidlet bruker kalsiummiddel eller aluminiumsmiddel. Metoden vi bruker er å utfelle fosfat med CaCl2 først, og deretter tilsette PAC for koagulering.
Reaksjonsformelen til CaCl2 og PO43- er:
Ca2 pluss pluss PO43-→ Ca3(PO4)2↓
Den teoretiske løseligheten til kalsiumfosfat er omtrent 20 mg/L. Etterfølgende koagulasjonsbehandling danner videre større sedimenter, som til slutt fjernes i en sedimentasjonstank. Reaksjonen utføres vanligvis under forutsetning av at pH kontrolleres ved 8-10.

Organisk avløpsvannbehandling
Det finnes mange behandlingsmetoder for organisk avløpsvann, som aktivert slammetode, biofilmmetode, MBR-membranmetode osv. For tiden bruker vi hovedsakelig kontaktoksidasjonsmetode for behandling, anaerob pluss aerob behandlingsmetode. Denne metoden har stabil behandlingseffekt og lav investering, og favoriseres av eiere.

Sliping avløpsvannbehandling
Hovedforurensningene i malingsvannet er faste stoffer, men disse faste partiklene er små og vanskelige å felle ut. Generelt økes diameteren på partiklene ved koagulering for å gjøre partiklene lettere å sedimentere.

Ammoniakk Nitrogen Avløpsvann
Behandlingsmetodene for ammoniakknitrogenavløpsvann inkluderer strippemetode, klorbruddpunktmetode, biologisk metode, nøytraliseringsmetode, utfellingsmetode, ionebyttermetode og dampstrippingmetode. Strippingsmetoden som brukes til å behandle høykonsentrert ammoniakknitrogenavløpsvann har fordelene med enkel prosess, stabil behandlingseffekt, lave kapitalkonstruksjonskostnader og driftskostnader, og har sterk gjennomførbarhet. Når konsentrasjonen av ammoniakknitrogenavløpsvann er relativt høy (mer enn noen få hundre), reduseres konsentrasjonen av ammoniakknitrogen til under 100 mg/L ved strippemetode, og ammoniakknitrogenet som strippes ut absorberes ved syretilsetning til ammoniumsulfat og sendt ut. Ammoniakknitrogenavløpsvannet i halvlederindustrien har lavt karboninnhold, og den biokjemiske metoden er ikke egnet. Strippemetode og nedbørsmetode er egnet for høykonsentrasjon av ammoniakknitrogenavløpsvann. Nøytraliseringsmetoden kan ikke helt fjerne forurensningen av ammoniakknitrogen og drive ut ammoniakknitrogen fra avløpsvannet, men den må utstyres med et ekstra absorpsjonstårn for absorpsjon, som er en relativt høy investering for prosjekter med liten rensekapasitet. Noen halvlederanlegg har en liten mengde ammoniakknitrogenavløpsvann og lav konsentrasjon. Når konsentrasjonen er 100-200 mg/L, behandles ammoniakknitrogenavløpsvannet med klorbruddpunktmetoden. Denne metoden krever lave investeringer, lite fotavtrykk og relativt enkelt utstyr. En klormåler stilles inn i reaksjonstanken for å kontrollere doseringen av klor og reduksjonsmiddel.

Syrebasert avløpsvann
Behandlingsmetoden for syrebasert avløpsvann er veldig enkel, syre-base nøytraliseringsmetoden kan oppfylle kravene, og pH i reaksjonstanken kan kontrolleres til å være 6-9 for å oppfylle utslippsstandarden. En pH-meter settes i reaksjonstanken for å kontrollere doseringen av kjemikaliene.

https://www.biocell-enviro.com/